일반적인 적용 분야

반도체 제조 공정, 진공 증류, 제품 포장, 철강공업에서의 탈기공정, 필름 제조 공정, 비철 야금, 저밀도 Wind Tunnels, 우주 공간 모의 실험, 진공충진, 유류 건조 및 탈기, 제약산업에서의 동결건조, 이산화탄소 레이저 발생 분야 등

루츠형 진공펌프

루츠 메카니즘의 진공펌프는 펌프 내에 쌍으로 이루어진 땅콩 모양의 두개의 회전자가 서로 반대 방향으로 맞물려 회전하면서 흡입구로부터 배기구로 압축된 가스를 배출하는 시스템입니다. 즉, 로터가 회전함에 따라 흡입된 가스는 배기구로 나가게 됩니다.

루츠형 진공펌프는 저진공 영역에서 고효율의 능력을 발휘합니다. 또한 루츠형 메카니즘이 적용된 부스터 펌프는 3000 m3/hr 이상의 고속 및 0.01mbar에서 50mbar 사이의 중진공이 필요한 영역에서 가장 선호되고 있습니다.

Mechanical Boosters는 진공펌프를 고속으로 구동할 때 특히 다른 진공펌프를 사용함에 따라 동력의 제한적 사용이 필요할 때 등 다양한 형태로 사용될 수 있습니다. 또한 부스터 펌프를 단독으로 사용하는 경우에는 고진공 상태의 유지에 변이가 생길 수 있어 Backing Pump를 사용해야 합니다.

EH 시리즈 펌프는 강한 내부식성을 가지고 다이나믹한 균형이 유지되는 회전자와 정밀하게 수평이 유지되는 기어들은 부드럽고 조용하며 진동이 없는 진공펌프로서의 능력을 수행하게 해 줍니다.

최첨단의 Shaft-Seal 기술은 공정내 진공 Chamber의 오염을 원천적으로 차단하고 또한 부식의 가능성이 있는 By-pass Line도 필요 없으며 막힘의 위험이 있는 밸브의 사용도 없게 해줍니다. 펌프의 각 공정별 용도에 따라 성능의 개선을 위해 흡입구 먼지 제거 필터, Backing Pump를 위한 Oil Mist 필터, 펌프 내부로 유입 가능한 용제들을 거르기 위한 흡배기구 Catch-pot 등을 옵션 악세서리로 장착할 수 있습니다.